?url_ver=Z39.88-2004&rft_id=10.1007%2Fs00542-021-05221-4&rft_val_fmt=info%3Aofi%2Ffmt%3Akev%3Amtx%3Ajournal&rft.aufirst=F.&rft.au=Ahmad%2C+F.&rft.aulast=Ahmad&rft.volume=27&rft.date=2021&rft.pages=2543-2552&rft.issue=7&rft.title=Microsystem+Technologies&rft.issn=09467076&rft.atitle=Design%2C+modelling+and+testing+of+CMOS-MEMS+switch&rft.genre=article